多功能光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱: 多功能光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào): 7505-01
產(chǎn)品展商: Chroma
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
Chroma*新一代7505-01多功能光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)在一設(shè)備上同時(shí)具備1D、2D、3D的量測(cè)能力。1D膜厚量測(cè)功能,利用穿透反射式量測(cè),可對(duì)透明半透明的材料進(jìn)行非破壞性膜厚量測(cè)。
多功能光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹
多功能光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)主要特色:
- 一機(jī)具備1D、2D、3D量測(cè)能力
- 具備膜后量測(cè)功能(1D),使用穿透反射式量測(cè),可進(jìn)行非破壞式膜厚量測(cè)
- 使用高解析度線型掃瞄相機(jī),可進(jìn)行高速2D瑕疵量測(cè),可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵
- 使用白光干涉量測(cè)技術(shù),可進(jìn)行3D三維形貌量測(cè)
- 搭載電動(dòng)式鼻輪,可同時(shí)掛載多種物鏡并可程式控制切換使用
- 具備暗點(diǎn)以及邊界錯(cuò)誤問題修正演算法
- 模組化設(shè)計(jì)可依量測(cè)需求及預(yù)算考量進(jìn)行各部件選配
- 量測(cè)范圍可涵蓋約700 mm x 900 mm (可依需求提供更小尺寸)
- 三維量測(cè)提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能,如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
- 載臺(tái)具備真空吸附能力,軟性待側(cè)物可完全平整的被吸附形成一個(gè)平整的平面
- 友善的人機(jī)介面,簡單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖形顯示
- 自動(dòng)化快速自我校正能力,確認(rèn)系統(tǒng)量測(cè)能力
- 提供腳本量測(cè)功能,具備自動(dòng)量測(cè)能力
- 提供中/英文程式介面切換
Chroma*新一代7505-01多功能光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)在一設(shè)備上同時(shí)具備1D、2D、3D的量測(cè)能力。1D膜厚量測(cè)功能,利用穿透反射式量測(cè),可對(duì)透明半透明的材料進(jìn)行非破壞性膜厚量測(cè)。2D量測(cè)搭載高解析度線型掃瞄相機(jī),搭配電腦精密控制的平臺(tái)進(jìn)行水平掃描,量測(cè)范圍可達(dá)到700mm x 900mm的范圍,同時(shí)載臺(tái)具備真空吸附能力,針對(duì)軟性待測(cè)物如觸控面板、電子紙及AMOLED等軟性顯示器等可以平整的被吸附形成一個(gè)平整的平面。本系統(tǒng)可適合于各種需要進(jìn)行微奈米等級(jí)量測(cè)并同時(shí)需要量測(cè)大范圍的應(yīng)用。2D瑕疵量測(cè),可檢出氣泡、刮傷、異物等瑕疵,并可透過三維量測(cè)功能進(jìn)一步對(duì)二維瑕疵進(jìn)行高度或深度的分析,同時(shí)具備2D及3D瑕疵分析的功能,能解決傳統(tǒng)二維檢測(cè)無法量測(cè)高度或深度的缺點(diǎn)。
目前3C產(chǎn)品朝小型化發(fā)展,相關(guān)上游供應(yīng)產(chǎn)業(yè),諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、PCB、軟性顯示器、電子紙、OLED、微機(jī)電(MEMS) 、電子封裝等產(chǎn)業(yè),對(duì)于各項(xiàng)二維三維的量測(cè)需求尺寸將會(huì)越來越小,各項(xiàng)尺寸量測(cè)的準(zhǔn)確性會(huì)反映出產(chǎn)品的品質(zhì)與效能,在制程中對(duì)各項(xiàng)尺寸品質(zhì)的即時(shí)監(jiān)測(cè)需求與日俱增。Chroma 7505-01能提供微奈米等級(jí)1D、2D、3D多功能的量測(cè)能力,可滿足各項(xiàng)產(chǎn)業(yè)及研究單位之需求,是您提升效率及節(jié)省成本的*佳選擇。
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